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武漢月憶神湖科技有限公司


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膜厚測量儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地武漢市

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更新時間：2025-10-22 09:59:43瀏覽次數(shù)：1次

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聯(lián)系人：張經理

產品簡介

【膜厚測量儀】采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點，可在真空環(huán)境使用；可與大行程工件臺配合，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量；

詳細介紹

一、膜厚測量儀 產品組成：

（1）測試主機

（2）光纖

（3）校正件

（4）測量頭

（5）夾持裝置

（6）手提電腦

（7）設備箱


二、膜厚測量儀 產品特點：

（1）采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點；

（2）可在真空環(huán)境使用；

（3）可與大行程工件臺配合，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量；

膜厚儀原理圖.jpg

膜厚儀光譜數(shù)據(jù)圖.jpg

三、主要技術指標：

（1）測量范圍（VIS）：15nm—100μm    

（2）測量重復性（RMS）：0.086nm    

（3）測量精度（與橢偏儀對比）：0.25nm    

（4）測量層數(shù)：大于3層；

（5）使用光源：鹵素燈；    

（6）入射角度：90°    

（7）測試材料：透明或半透明薄膜材料；    

（8）光斑尺寸：20μm—3mm（可選）    

（9）測量時間：100ms—4ms

（10）通信接口：USB2.0    


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