【Tergeo等離子清洗機(jī)】是一種經(jīng)濟(jì)高效、多功能的等離子體蝕刻和清洗研發(fā)解決方案。Tergeo系統(tǒng)采用全自動(dòng)系統(tǒng)控制，可確保一致、可重復(fù)的結(jié)果，可以產(chǎn)生各種等離子體（包括氧氣、氬氣、環(huán)境空氣、氮?dú)?、氫氣、SF6、水蒸氣等），可以有效去除碳?xì)浠衔锖蜔o(wú)機(jī)表面污染物。不僅可以清潔和活化表面，還可以提高粘合強(qiáng)度，提高表面能，并使樣品具有親水性，使其成為精確表面處理和改性的理想選擇。

詳細(xì)介紹

Tergeo等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品規(guī)格和特點(diǎn)：

1.射頻功率系統(tǒng)

- 射頻頻率：13.56 MHz，同等功率下，比低成本kHz等離子系統(tǒng)效率高10×以上。

- 功率輸出：標(biāo)配0-75W或0-150W選配，可通過(guò)配方設(shè)置以1W的增量進(jìn)行調(diào)整。

- 阻抗匹配：全自動(dòng)優(yōu)化動(dòng)力傳輸。

2. 等離子體作模式

模式：

- 連續(xù)模式：傳統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)等離子體作。

- 脈沖模式：具有從99%（連續(xù)）到1% 以下的可調(diào)脈沖占空比的獨(dú)特功能，可將等離子體強(qiáng)度動(dòng)態(tài)范圍增加100×。

清洗技術(shù)：

- 高速直連模式：電容耦合排放，用于強(qiáng)力清洗。

- 溫和下游模式：感應(yīng)耦合排放，適用于更精細(xì)的清洗應(yīng)用。

3. 過(guò)程監(jiān)控和控制

等離子體強(qiáng)度監(jiān)測(cè)：

- 在蝕刻、灰化和清洗過(guò)程中進(jìn)行實(shí)時(shí)定量測(cè)量，以確保工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

控制系統(tǒng)：

- 基于預(yù)設(shè)配方的全自動(dòng)作（可定制）。

- 需要時(shí)可手動(dòng)作。

4. 氣體輸送和腔室設(shè)計(jì)

工藝氣體：

- 與氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)狻F₄、SF₆、水蒸氣等兼容。

氣體輸送：

- 多達(dá) 3 個(gè)通道，帶質(zhì)量流量控制器（MFC）調(diào)節(jié)氣體輸入。

- 用于大氣壓力通氣的附加通風(fēng)口。

腔室：

- 由石英制成。

- 內(nèi)徑：4.3 英寸（110 毫米），深度：11 英寸（280 毫米）。

5. 真空系統(tǒng)

- 壓力傳感器：耐腐蝕鉑絲皮拉尼真空計(jì)。

- 真空泵：高級(jí)干式渦旋泵，適用于氧氣服務(wù)。

6. 用戶界面和遠(yuǎn)程支持

接口選項(xiàng)：

- 嵌入式 7 英寸 LCD 工業(yè)觸摸屏。

- 基于 Windows PC 的界面。

特征：

- 帶有集成配方控制的全自動(dòng)作。

- 運(yùn)行日志存儲(chǔ)以進(jìn)行進(jìn)程監(jiān)控。

遠(yuǎn)程支持：

- 用于故障排除的自診斷功能和日志文件存儲(chǔ)。

- 如有必要，可從美國(guó)總部進(jìn)行遠(yuǎn)程控制訪問(wèn)。

7. 物理和電氣規(guī)格

- 尺寸：450 毫米（寬）× 250 毫米（高）× 430 毫米（深）

- 重量：大約 45 磅（20 公斤）

- 電氣輸入：90–230 V AC，單相，10 A

Tergeo等離子清洗機(jī) 典型應(yīng)用：

- 引線鍵合、倒裝芯片底部填充、器件封裝和解封裝

- SEM/TEM 樣品清洗，用于去除碳質(zhì)污染物和減少氧化物

- 生物醫(yī)學(xué)涂層前的表面處理，提高醫(yī)療植入物的親水性

- 環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)元件、玻璃和基板清潔

- 光刻膠灰化、除渣和硅晶片清洗

- PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室

- 改善金屬對(duì)金屬或復(fù)合材料的粘合

- 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合

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